A H2SENSE construiu condições de teste de design e processamento perfeitas para chips de sensores de película fina. Atualmente, existem quase 300m2oficina de purificação (incluindo área de fotolitografia) e os principais equipamentos de processo incluem máquina de litografia, deposição de feixe de íons (IBD), máquina de revestimento óptico, PECVD, forno de recozimento de atmosfera de alto vácuo, máquina de ligação de fio dourado HYBOND, sistema de transporte automático de dosagem de gás padrão, cromatógrafo de óleo de transformador e medidor digital multifuncional de seis bits e meio, com um total de quase 40 conjuntos.
